1.臭氧与化学熏蒸杀菌比较： 
     臭氧作为高效广谱、无残余污染的气体消毒剂比食品行业常用的消毒剂具有特殊的优越性。与过氧乙酸、高锰酸钾、甲醛（福尔马林）、二氧化硫（硫磺熏蒸）等化学消毒剂相比：其杀菌能力与过氧乙酸相当，高于其它消毒剂。臭氧会自行分解为氧气，不产生残余污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果。臭氧可直接对食品使用作杀菌或防霉保鲜，为干法消毒，简单易行。臭氧杀菌浓度对食品是极微弱的氧化浓度，对食品无害。化学消毒剂理论上是不可行的，实际使用应很严格并操作复杂。 
2.臭氧与紫外线灯管管照射杀菌比较： 
     紫外线灯管以光波辐射作用杀菌，只有照射到的位置且达到照射强度标准才有杀菌效果。食品加工车间很高、很大，照射强度与距离平方成反比，强度不够，照射又有很大死角。臭氧为气体，扩散性好，无死角，浓度均匀。紫外线灯管杀菌在相对湿度60％以上时效果急剧下降，80％湿度上时反可诱使细菌复活。臭氧则相反，湿度越高杀菌效果越好，对食品行业80％－90％高湿环境特别适合。 
      食品加工车间安装臭氧设备所需投资与紫外线灯管相当（按16-18m3装一只30W紫外线灯管设计标准），而运行费用由于臭氧设备省电、寿命长而大大降低，对于新建车间更为经济。
     食品行业如每天下班后消毒工作服，在20m2封闭房间内挂上几十件工作服，在地上洒些水。如利用3g/h臭氧发生器开机3~4小时即可达到8~10PPM臭氧浓度取得杀灭率85%以上的消毒效果。把工作服挂在臭氧杀菌车间也有消毒作用，效果因浓度较低而差一些。
虽然臭氧是强臭氧剂，但由于在空气中应用浓度与对表面氧化要求相比还是很低的，不足以造成明显损害。实践证明，应用多年的加工车间、冷库，均未发现设备、装置受损明显的情况，橡胶制品除处。由于水处理应用臭氧浓度高，接触臭氧部分的材料应具有防氧化能力