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光氧净化设备分为三个独立的混合励磁系统：微波激发区，等离子体激发区，刺激各激励区。板块有其特定的作用，但原理上有相似之处。
1：微波激励区
这个过程有3至9个微波励磁单元，根据不同的Q值。空气是不同的量，微波由于它的频率比较高，在纳秒级的时间空间是有效的，微波功率比较小，所以激励能力也说了电子跃迁的能力是有限的，这种设计只是作为初始频率的微波激励源，在这个过程中，作为一个预激发能量。由于微波技术的使用，这种技术与同类设备相比较为优良。
2：低温等离子体激发
从大量的试验分析，低温等离子体在工业中的应用难度仍然较大，采用低压无极光源为低温等离子体激发的过程中，由于低温等离子体具有很强的能量平衡在能源转型过程中颗粒碰撞障碍少，所以低温等离子体原子的激发是理想的。在实践中，最大的问题就是什么样的管内气体的经济价值？只有通过实践、实验和分析，才能得出最后的结论。
3：在正常或在常压条件下一阶段电催化氧化工艺集低温等离子体,微波放电,极板放电与一体,在实际使用中实现废气的有效处理是极为复杂的过程,整个过程在不到1秒的时间内完成.从理论到模型都能探究到相关的机理,通过三种方式的集中放电,废气分子在千分之一秒的时间内跃到足以使其电离的最高级,废气分子充分断裂,在雪崩式的撞击中断裂后的粒子由于质量更小,被进一步跃进,与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应,生成无害无味的CO2,H2O以及其它化合物.同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用,彻底去除不同范围的废气化合物,用途比较广泛。
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